Tổng quan về sản phẩm

MHS 100 do Leuven Instruments phát triển là hệ thống khắc mặt nạ cứng kim loại chuyên dụng cho ngành công nghiệp vi mạch 12-inch. Nó bao gồm các buồng khắc ICP và một mô-đun chuyển giao, tập trung vào việc mở mặt nạ cứng kim loại TiN trong các quy trình kết nối đồng phía sau (tần số lặp lại cao). Nó có thể hoạt động độc lập để khắc mặt nạ cứng của các nút công nghệ khác nhau và cũng đóng vai trò là mô-đun tùy chọn cho MSE 100 để thực hiện khắc khắc tích hợp từ mặt nạ cứng kim loại đến lớp chức năng của thiết bị

Thuận lợi

Khả năng thích ứng sản xuất hàng loạt

Được thiết kế để sản xuất hàng loạt tấm wafer IC 12- inch với độ ổn định đã được xác minh nhằm đáp ứng nhu cầu khắc mặt nạ cứng có độ lặp lại cao.

Khả năng tương thích quy trình rộng

Hỗ trợ quy trình khắc mặt nạ cứng TiN và SADP cho các nút công nghệ 55nm và tiên tiến.

Khả năng mở rộng tích hợp tốt

Kết hợp linh hoạt với LMEC{1}}300™ để khắc tích hợp "lớp chức năng mặt nạ cứng", nâng cao hiệu quả

Ứng dụng

Quá trình quay lại-của IC 12 inch

Ứng dụng cốt lõi trong việc mở mặt nạ cứng kim loại TiN của các kết nối đồng-ở mặt sau .

Sản xuất nút công nghệ tiên tiến

Thích hợp cho việc sản xuất vi mạch 55nm và các nút công nghệ tiên tiến hơn.

Chế tạo thiết bị bộ nhớ mới nổi

Cung cấp các giải pháp khắc tích hợp khi kết hợp với LMEC-300™.

Thông số

Loại	Chi tiết
Khả năng tương thích wafer	Dành riêng cho tấm vi mạch 12 inch (300mm), phù hợp với yêu cầu về kích thước dây chuyền sản xuất hàng loạt
Cấu hình buồng	Được trang bị buồng khắc plasma (ICP) kết hợp cảm ứng + mô-đun chuyển giao, đảm bảo quá trình ổn định và chuyển wafer
Vật liệu & quy trình mục tiêu	Tập trung vào khắc mặt nạ cứng kim loại TiN; tương thích với các quy trình SADP
Nút công nghệ tương thích	Hỗ trợ các nút công nghệ tiên tiến và 55nm, đáp ứng-nhu cầu về độ chính xác trong sản xuất vi mạch cao cấp
Khả năng tích hợp	Mô-đun tùy chọn dành cho LMEC{1}}300™, cho phép khắc tích hợp "lớp chức năng mặt nạ cứng"
Tuân thủ công nghiệp	Áp dụng các khái niệm thiết kế và-thành phần tiêu chuẩn trong sản xuất hàng loạt chất bán dẫn, phù hợp cho việc sản xuất khối lượng vi mạch 12 inch